《Materials Science In Semiconductor Processing》中文名稱：《半導體加工中的材料科學》，創刊于1998年，由Elsevier Ltd出版商出版，出版周期Bimonthly。

《半導體加工中的材料科學》為討論（光）電子、傳感器、探測器、生物技術和綠色能源的功能材料和器件的新型加工、應用和理論研究提供了一個獨特的論壇。

每期都旨在提供當前見解、新成就、突破和未來趨勢的快照，涉及微電子、能量轉換和存儲、通信、生物技術、（光）催化、納米和薄膜技術、混合和復合材料、化學加工、氣相沉積、器件制造和建模等不同領域，這些領域是先進半導體加工和應用的支柱。

內容包括：亞微米器件的先進光刻技術；蝕刻及相關主題；離子注入；損傷演變和相關問題；等離子體和熱 CVD；快速熱處理；先進的金屬化和互連方案；薄介電層、氧化；溶膠-凝膠處理；化學浴和（電）化學沉積；復合半導體加工；新型非氧化物材料及其應用； (大)分子和混合材料；分子動力學、從頭算方法、蒙特卡羅等；分立電路和集成電路的新材料和新工藝；磁性材料和自旋電子學；異質結構和量子器件；半導體電學和光學特性的工程；晶體生長機制；可靠性、缺陷密度、固有雜質和缺陷。

投稿《Materials Science In Semiconductor Processing》需要準備的文件可詳細閱讀以下要求：

文章要求：

1、建議稿件控制10頁以上，文章撰寫語言為英語；（單欄格式，單倍行距，內容10號字體，文稿類型包含：原創研究(Original Research)、案例報告(Case Report)、文獻綜述(Literature Review)等；文件格式包含word、PDF、LaTeX等。

2、稿件重復率控制10%以內，論文務必保證原創性、圖標、公式、引文等要素齊備，保證附屬資料的完整。已發表或引用過度的文章將不會被出版和檢索，禁止一稿多投，拒絕抄襲、機械性的稿件。

3、稿件必須有較好的英語表達水平，有圖，有表，有公式，有數據或設計，有算法（方案，模型），實驗，仿真等；參考文獻控制25條以上，參考文獻引用一半以上控制在近5年以內。

圖片和圖表要求：

1、建議使用TIFF、EPS、JPEG格式 ，TIFF格式 使用LZW壓縮。

2、文件大小最大不超過20MB，不要以單個文件的形式上傳數據。

3、彩色圖片的分辨率≥300dpi；黑白圖片的分辨率在≥500dpi；line art圖片類型的分辨率≥1000dpi；色彩模式建議采用RGB，除非期刊注明要CMYK。

4、線條不要細于0.25pt,也不能太粗，超過1.5pt,過細或過粗都影響美觀。

5、表格一般和manuscrript放置在一個word文檔里部分期刊 需要單獨上傳表格。

作者信息：

1、包括作者姓名、最高學位，作者單位（精確到部門），郵箱，地址，郵編，關鍵詞，內容，總結，項目基金，參考文獻，作者相片+簡介（一定要確保作者信息準確無誤，提交稿件之后這部分不能再作改動）。

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